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白光干涉儀一款超精密測量的光學(xué)儀器

更新時間:2024-11-29點擊次數(shù):223
  白光干涉儀,作為一種高精度的光學(xué)測量儀器,廣泛應(yīng)用于科研、工業(yè)生產(chǎn)和質(zhì)量檢測等多個領(lǐng)域。它基于光學(xué)干涉原理,能夠?qū)崿F(xiàn)對物體表面微觀形貌的精確測量,具有測量精度高、操作便捷、功能齊全和測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點。
  白光干涉儀的結(jié)構(gòu)主要包括照明光源系統(tǒng)、光學(xué)成像系統(tǒng)、垂直掃描控制系統(tǒng)、數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)和應(yīng)用軟件。照明光源系統(tǒng)通常采用高亮度LED光源,提供穩(wěn)定、均勻的光源。光學(xué)成像系統(tǒng)則負責(zé)接收從樣品和參考鏡反射回來的光線,并形成清晰的圖像或干涉條紋。垂直掃描控制系統(tǒng)能夠精密驅(qū)動顯微物鏡上下移動,調(diào)整焦距和掃描范圍。數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)由計算機和數(shù)字信號協(xié)處理器構(gòu)成,負責(zé)采集和處理原始圖像數(shù)據(jù)。應(yīng)用軟件則提供操作控制、結(jié)果顯示及后處理功能。
  其測量原理是光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準直后,通過分光棱鏡被分成兩束光,一束投射到被測樣品表面,另一束投射到參考鏡表面。兩束光分別從樣品和參考鏡表面反射回來,再次通過分光棱鏡后匯聚成一束光,并在CCD相機感光面上形成兩個疊加的像。由于兩束光的光程差不同,它們會在CCD相機上產(chǎn)生明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差,通過分析干涉條紋的明暗度及位置變化,可以解析出被測樣品的相對高度或三維形貌。
  白光干涉儀的應(yīng)用范圍廣泛,包括半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè),以及航空航天、科研院所等領(lǐng)域。它能夠測量從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,提供從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù),為產(chǎn)品質(zhì)量控制和科學(xué)研究提供了有力支持。
  此外,它還具有非破壞性檢測的特點,適用于各種材料的檢測,包括金屬、半導(dǎo)體、光學(xué)鏡片等。在生命科學(xué)和醫(yī)學(xué)領(lǐng)域,它還可以用來觀察細胞和組織的形態(tài)變化,提高細胞成像的分辨率和清晰度。
  綜上所述,白光干涉儀以其高精度、高效率和廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,成為現(xiàn)代科研和工業(yè)生產(chǎn)中至關(guān)重要的光學(xué)測量工具。
  最后展示幾組白光干涉儀外觀圖片,以便您更好地了解產(chǎn)品。

 

 

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