HP1000V-MPS 真空高溫探針臺 INSTEC冷熱臺

產(chǎn)品簡介

HP1000V-MPS 真空高溫探針臺 INSTEC冷熱臺系列是可從外部移動(dòng) 探針進(jìn)行點(diǎn)針的桌上型探針臺，涵蓋多型號、多溫度范圍。同時(shí)允許溫控、探針電測試、光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。探針臺上蓋與底殼構(gòu)成一個(gè)可抽真空的密封腔，亦可內(nèi)充入氮?dú)獾缺Ｗo(hù) 氣體，來防止樣品在負(fù)溫下結(jié)霜，或高溫下氧化。

產(chǎn)品型號：

更新時(shí)間：2025-04-29

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：54

產(chǎn)品咨詢 17701039158

產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

冷熱臺

美國INSTEC冷熱臺英國林肯Linkam冷熱臺

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HP1000V-MPS 真空高溫探針臺 INSTEC冷熱臺系列是可從外部移動(dòng) 探針進(jìn)行點(diǎn)針的桌上型探針臺，涵蓋多型號、多溫度范圍。同時(shí)允許溫控、探針電測試、光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。探針臺上蓋與底殼構(gòu)成一個(gè)可抽真空的密封腔，亦可內(nèi)充入氮?dú)獾缺Ｗo(hù) 氣體，來防止樣品在負(fù)溫下結(jié)霜，或高溫下氧化。

功能特點(diǎn)

mimi 型溫控探針臺，可集成到各種光學(xué)設(shè)備

可編程控溫，涵蓋 RT~1000℃

適用 10 mm ~25 mm 晶圓和器件

可抽真空的腔體，亦可充入保護(hù)氣體使用

獨(dú)立的四個(gè)探針，可從設(shè)備外部移動(dòng)探針進(jìn)行點(diǎn)針

可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件 SDK

模塊化設(shè)計(jì)，可自由組合

*可升級為 8 個(gè)獨(dú)立探針

*SMA 接頭轉(zhuǎn) BNC 四探針，手動(dòng)點(diǎn)針 *可選三同軸接口，用于 pA 級測試

*可做定制或改動(dòng)，詳詢上海恒商

溫控參數(shù)

溫度范圍 30℃~1000℃

加熱塊材質(zhì) 陶瓷

傳感器/溫控方式 S / PID 控制（含 LVDC 降噪電源）

最大升溫速率 50℃/min

最小溫控速度 ±0.1℃/min

溫度分辨率 0.1℃

溫度穩(wěn)定性 ±0.5℃

軟件功能可設(shè)溫控速率，可設(shè)溫控程序，可記錄溫控曲線

電學(xué)參數(shù)

探針默認(rèn)為錸鎢材質(zhì)的彎針探針

探針座可從外部 XYZ 移動(dòng)的探針臂

點(diǎn)針從外部移動(dòng)點(diǎn)針，每個(gè)探針座都可點(diǎn)到樣品區(qū)上任意位置

探針接口默認(rèn)為 SMA 接頭轉(zhuǎn) BNC *可增設(shè)腔內(nèi)接線柱（樣品接電引線）

樣品臺面電位默認(rèn)為電接地，可選電懸空（作背電極），可選三同軸接口

光學(xué)參數(shù)

適用光路反射光路

窗片可拆卸與更替的窗片

最小物鏡工作距離 8/12 mm （可選） *截面圖中 WD

上蓋窗片觀察窗片范圍φ45mm，最大視角±58° *截面圖中θ1

負(fù)溫下窗片除霜吹氣除霜管路

結(jié)構(gòu)參數(shù)

適用樣品 25 mm*25mm

樣品腔高 4/8 mm （可選）

探針座可從外部 XYZ 移動(dòng)的探針臂粗調(diào)模式+微調(diào)模式，XY 粗調(diào) 20mm XY 微調(diào)行程 10mm,Z 微調(diào) 3mm

調(diào)節(jié)精度 10um

氣氛控制真空腔，也可充入保護(hù)氣體

外殼冷卻可通循環(huán)水，以維持外殼溫度在常溫附近

臺體尺寸/重量 300 mm x 300 mm x 40 mm / 5kg

配置列表

基本配置真空型臺式探針臺、mK2000B 溫控器

可選配件安裝支架、液氮制冷系統(tǒng)、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)、顯微鏡頭、防震桌、真空系統(tǒng)、測試源表、三同軸 BNC、臺面電懸空、樣品接電引線

以上是HP1000V-MPS 真空高溫探針臺 INSTEC冷熱臺的詳細(xì)介紹

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