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技術(shù)文章

TECHNICAL ARTICLES

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  • 202411-18
    Sensofar共聚焦白光干涉儀 | 用于有機(jī)光電器件的激光成型

    卡爾斯魯厄理工學(xué)院(KIT)的有機(jī)光伏小組研究有機(jī)太陽能電池和半導(dǎo)體器件的制造、優(yōu)化和仿真。我們的研究重點(diǎn)是評估新材料、沉積技術(shù)和器件制造,包括從單層沉積和結(jié)構(gòu)化到器件表征等所有步驟。這項(xiàng)工作的目的是制造適用于照明設(shè)備的大型有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)。這要求OLED間進(jìn)行隱形串聯(lián),以減少器件電流,從而減輕歐姆損耗。飛秒激光用于選擇性地構(gòu)造層。OLED中的半透明電極的高電阻導(dǎo)致嚴(yán)重的歐姆損耗。歐姆損耗導(dǎo)致器件發(fā)出不均勻的光??梢酝ㄟ^串聯(lián)較小的OLED解決此問題。器件的較小面積限...

  • 202411-18
    Sensofar共聚焦白光干涉儀 | 用于生物應(yīng)用的納米壓力傳感器初始偏轉(zhuǎn)的測量

    在用于生物應(yīng)用的納米壓力傳感器的制造中,犧牲層蝕刻和由真空間隙分隔開的兩個膜的密封,以形成Fabry-Pérot諧振器,這些都是至關(guān)重要的因素。知道在制造過程之后膜片初始撓曲的確切時間同樣也是關(guān)鍵。圖1.制成的壓力傳感器的SEM圖像(條形刻度1µm)壓力傳感器是一個6×10µm的芯片,包括一個由兩個被真空間隙隔開的多晶硅膜和一個光學(xué)參考區(qū)域限定的機(jī)械傳感器。薄膜起平行反射鏡的作用,構(gòu)成Fabry-Pérot諧振器,對某些波長部分透明。外部壓力P使薄膜偏...

  • 202411-15
    Sensofar共聚焦白光干涉儀 | 用于端銑刀的多角度特性描述

    在工具行業(yè)中,光學(xué)測量在從設(shè)計和工具使用的角度都是取得成功的關(guān)鍵。光學(xué)輪廓儀為制造商提供寶貴的信息,幫助他們優(yōu)化他們的工具和工藝。光學(xué)測量在工具制造中的一個關(guān)鍵應(yīng)用是切削工具的尺寸特征化,以確保工具的最佳性能和長壽命。除尺寸特征化外,粗糙度測量對于預(yù)測切割材料從工具中有多好地排出也很有意義。這些信息對于預(yù)防工具使用過程中的凝塊形成或過熱至關(guān)重要。光學(xué)測量系統(tǒng)也可以提供局部測量,以幫助識別潛在的切削工具問題。例如,這些系統(tǒng)可以檢測到切口或涂層剝落,這表明工具需要被替換或修復(fù)。值...

  • 202411-15
    Sensofar共聚焦白光干涉儀 用于CMP中墊面光澤監(jiān)測及3D測量

    化學(xué)機(jī)械平面化(CMP)是半導(dǎo)體、硬盤和LED晶片制造行業(yè)的關(guān)鍵過程,用于實(shí)現(xiàn)基板晶片所需的平整度。平面化對于確保結(jié)構(gòu)內(nèi)多層互連的功能性以及在保持均勻性的同時減少晶片厚度至關(guān)重要。隨著特征尺寸繼續(xù)縮小和集成級別繼續(xù)提高,CMP預(yù)計在未來微電子設(shè)備的發(fā)展中將扮演越來越重要的角色。通過精確控制表面地形和材料屬性,CMP可以實(shí)現(xiàn)新型的設(shè)備架構(gòu),如3D堆疊、finFETs、納米線和量子點(diǎn)。此外,化學(xué)機(jī)械平面化還可以通過克服傳統(tǒng)蝕刻技術(shù)的限制,促進(jìn)新材料的集成,如高k電介質(zhì)、低k電介質(zhì)...

  • 202411-14
    共聚焦白光干涉儀 | 用于摩擦涂層的表面表征:磨損性能、厚度和粗糙度

    研究重點(diǎn)是改善類金剛石(DLC)涂層的摩擦力學(xué)性能。這類涂層采用新型PVD技術(shù)高功率脈沖磁控濺射(HiPIMS),通過正脈沖沉積在工具鋼上。這些涂層因其優(yōu)異的耐磨性、極低的摩擦系數(shù)、*高的硬度或生物相容性而受到業(yè)界的高度關(guān)注。研究的目的是提高DLC涂層在不同鋼基材上的附著或耐磨性等摩擦力學(xué)性能。我們期望借助Sensofar的3D光學(xué)輪廓儀,在更高質(zhì)量的2D和3D圖像中以更高的測量精度進(jìn)行表面表征。我們測量了有涂層和無涂層圓形樣品和平面樣品。使用不同的鋼材和陶瓷作為基材。使DL...

  • 202411-14
    共聚焦白光干涉儀 用于表征增材制造中的工藝誘導(dǎo)形狀和表面紋理變化

    在過去十年中,增材制造因其相對于傳統(tǒng)減材和等材方法的優(yōu)點(diǎn)而被工業(yè)界采用。對于創(chuàng)造復(fù)雜幾何形狀來說,增材制造所提供的可能性使用傳統(tǒng)制造方法是無法實(shí)現(xiàn)的。然而,其存在一些缺點(diǎn),如缺乏標(biāo)準(zhǔn)化、難以控制生產(chǎn)出樣品的尺寸和表面性質(zhì)以及在大多數(shù)情況下需要后續(xù)處理步驟等。在本研究中,我們希望通過測量形狀和表面紋理,來測量單個參數(shù)在制造部件最終性能上可能產(chǎn)生的改變。研究1.作為工藝參數(shù)(材料及其他)函數(shù)的形狀偏差對于本研究案例,我們使用“選擇性激光熔化”技術(shù)兩次生產(chǎn)相同的試樣,但是使用了兩種...

  • 202411-13
    用于對通過飛秒脈沖激光加工工藝生產(chǎn)的汽車發(fā)動機(jī)缸套進(jìn)行的織構(gòu)形狀評估

    激光加工工藝通過進(jìn)行毛化,產(chǎn)生表面摩擦、觸覺行為、潤濕特性等強(qiáng)化功能性能來開發(fā)設(shè)計表面。在皮秒和飛秒?yún)^(qū)域中使用超短脈沖持續(xù)時間的激光加工讓表面毛化具有高度精致的微幾何形狀、邊緣和效果。5軸激光加工使三維部件的無縫毛化能夠具有復(fù)雜的輪廓。SensofarSneox3D光學(xué)輪廓儀已成為MTC表面織構(gòu)開發(fā)的一個組成部分。在與一家汽車公司進(jìn)行的合作實(shí)驗(yàn)研究中(該研究為歐洲資助的Prometheus項(xiàng)目的一部分),在MTC開發(fā)了表面織構(gòu),并使用飛秒激光系統(tǒng)將其應(yīng)用到汽車內(nèi)燃機(jī)缸套部分的...

  • 202411-13
    Sensofar光學(xué)輪廓儀 | 用于激光雕刻鋼材嵌件的尺寸分析

    激光技術(shù)非常適合用于制造模具中的微孔、微流控通道或甚至是強(qiáng)化鋼或硬金屬工具的微銑削。我們使用納秒和飛秒激光來實(shí)現(xiàn)出色的表面質(zhì)量。因此,激光技術(shù)用于功能性紋理,在其中雕刻的納米結(jié)構(gòu)增加了功能性。例如,我們可以創(chuàng)建減少摩擦或增加衍射、捕獲或擴(kuò)散的結(jié)構(gòu)。其他結(jié)構(gòu)可能是超疏水甚至是抗菌的。對于功能性紋理,超短脈沖持續(xù)時間的激光,如飛秒激光,有兩個主要優(yōu)勢。首先,微銑削沒有毛刺,因此部件幾乎沒有熱效應(yīng)。結(jié)果是一個干凈、銳利的微銑削,具有明確的邊緣和高質(zhì)量的表面處理。其次,因?yàn)樗且粋€“...

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